直拉单晶硅工艺技术
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作者黄有志, 王丽主编
出版社化学工业出版社
ISBN9787122298850
出版时间2023-05
版次2
装帧平装
开本16开
纸张胶版纸
页数140页
字数194千字
定价32元
货号SC:9787122298850
上书时间2024-12-11
商品详情
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作者简介:
无
内容简介:
本书主要内容包括单晶炉的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、原辅材料的准备、直拉单晶硅生长技术、铸锭多晶硅工艺、掺杂技术等内容。
本书可作为各类院校太阳能光伏产业硅材料技术专业、新能源专业的教材，也可作为单晶硅生产企业的员工培训教材，还可作为相关专业工程技术人员的参考书。
目录:
绪论1
第1章单晶硅的基本知识3
1.1晶体和非晶体3
1.2单晶和多晶7
1.3空间点阵和晶胞8
1.4晶面和晶向11
1.5晶体的熔化和凝固15
1.6结晶过程的宏观特征16
1.7晶核的形成17
1.8二维晶核的形成18
1.9晶体的长大19
1.10生长界面结构模型21
习题23
第2章直拉单晶炉25
2.1直拉单晶炉设备简介25
2.2直拉单晶炉的结构26
2.3机械部分27
2.4电气部分35
2.5直拉单晶炉的工作环境40
习题41
第3章直拉单晶炉的热系统及热场43
3.1热系统43
3.2热系统的安装与对中46
3.3热场47
3.4温度梯度与单晶生长47
3.5热场的调整51
习题52
第4章晶体生长控制器54
4.1CGC-101A型晶体生长控制器功能简介54
4.2CGC-101A型晶体生长控制器的开关状态说明55
4.3CGC-101A型晶体生长控制器的键盘操作说明56
4.4CGC-101A型晶体生长控制器参数设置及定义61
4.5CGC-101A型晶体生长控制器使用说明64
习题65
第5章原辅材料的准备67
5.1硅原料67
5.2石英坩埚72
5.3掺杂剂与母合金74
5.4其他材料75
5.5原辅材料的腐蚀和清洗76
5.6腐蚀原理及安全防护77
5.7自
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