高温SiC MEMS传感器的热电特性

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作者作者:(澳)丁东安//阮南中//陶宗越|责编:周涵//田轶静|译者:王兴华//刘文宝//刘红卫//李兴冀

出版社科学出版社

ISBN9787030724892

出版时间2022-06

装帧平装

纸张胶版纸

定价88元

货号ZJ:9787030724892

上书时间2024-09-18

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商品描述: 内容简介:
本书主要介绍了碳化硅（SiC）传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分，共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性；第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiCMEMS的制造流程，总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展；第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。
本书可作为高等院校微电子技术专业本科生及相关专业研究生的参考书，也可作为相关领域工程技术人员的参考资料。

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