RF
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作者郭兴龙编著
出版社江苏大学出版社
ISBN9787568417235
出版时间2021-11
版次1
装帧平装
开本16开
纸张胶版纸
页数184页
字数310千字
定价48元
货号SC:9787568417235
上书时间2024-09-17
商品详情
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内容简介:
RF MEMS（射频微机电系统）是MEMS（Micro Electromechanical System,微机电系统）技术的重要应用领域之一。本书内容覆盖了RF MEMS的理论、设计和大部分RF MEMS器件，RF MEMS技术可望实现和MMIC的高度集成，使制作集信息的采集、处理、传输、处理和执行于一体的系统集成芯片（SOC）成为可能。本书适合高等院校微电子技术、微波技术、集成电路专业、电子科学与技术、电子信息专业、微机电系统（MEMS）技术领域的高年级本科生、研究生及工程技术人员阅读使用。
目录:
第1章绪论
1.1MEMS基本特点
1.2MEMS在各学科领域的应用研究
1.3MEMS研究内容
1.4MEMS发展简史
1.5工艺的发展
第2章微机电系统力学基础
2.1MEMS尺寸效应
2.2微机械的弹性梁力学问题
2.3流体力学
2.4黏附力
2.5静电力
参考文献
第3章MEMS工艺
3.1光刻
3.2淀积
3.3腐蚀
3.4键合
3.5MEMS工艺的发展趋势
第4章RFMEMS器件设计微波基础
4.1微带传输线
4.2慢波共面波导传输线
4.3两端口微波网络
4.4微波滤波网络
4.5微尺度下微机械天线的电磁辐射和耦合理论
4.6分形结构原理
4.7分形天线的形式结构
4.8分形自相似滤波原理
4.9小结
参考文献
第5章RFMEMS可重构天线
5.1概述
5.2典型的微波硅基MEMS可重构天线设计
5.3硅基可重构天线设计
5.4掩膜版的制作
5.5天线的测试结果
5.6典型的硅基MEMS可重构分形天线设计
5.7Koch，Single-ArmSpiral，Double-Ring分形天线的设计
5.8小结
参考文献
第6章RFMEMS可重构滤波器
6.1概述
6.2分布参数法设计微波滤波器
6.3传输线理论基础
6.4带通滤波器的设计方法
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