微机电系统(第2版)
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作者苑伟政等编著
出版社西北工业大学出版社
ISBN9787561276761
出版时间2021-06
版次2
装帧平装
开本16开
纸张胶版纸
页数356页
字数584千字
定价69元
货号SC:9787561276761
上书时间2024-09-17
商品详情
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作者简介:
苑伟政：西北工业大学教授，博士生导师，机电学院院长；教育部“长江学者”特聘教授，国际知名的MEMS与微纳制造学科带头人，第25届世界微机械峰会主席；兼任中国微纳米技术学会会士，中国机械工程学会常务理事，中国微纳执行器与微系统学会理事长等，为中央军委科技委领域专家委员会委员、教育部科技委优选制造学部委员。主要从事微机电系统以及微纳制造方面的研究。
内容简介:
本书是在教育部对研究生推荐教材《微机械与微细加工技术》的基础上，结合微机电系统（MEMS）领域新的研究成果编著而成的。全书分为6章，分别介绍了MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，以及典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面，该书结合大量工艺实例，易于学生理解，有助于提高其动手能力；对各种典型微机电器件的介绍，大部分来源于实验室的课题研究实例，内容充实新颖。本书可以作为高年级本科生和研究生学习微机电系统相关课程的教材，也可供工程技术等专业人员参考。
目录:
第1章绪论
1.1微机电系统的定义
1.2微机电系统的发展历程
1.3微机电系统的主要研究内容
1.3.1基础理论研究
1.3.2支撑技术研究
1.3.3应用技术研究
1.4微机电系统的国内外研究及产业化现状
习题与思考题
参考文献
第2章微机电系统理论基础
2.1尺度效应
2.1.1尺度效应对材料性能的影响
2.1.2尺度效应对黏附特性的影响
2.1.3尺度效应对静电特性的影响
2.1.4尺度效应对流体系统的影响
2.1.5尺度效应对电学特性的影响
2.1.6尺度效应对热传导的影响
2.2材料基础
2.2.1硅材料
2.2.2硅化合物
2.2.3压电材料
2.2.4形状记忆合金
2.2.5超磁致伸缩材料
2.2.6电流变体与磁流变体
2.2.7有机聚合物材料
2.2.8纸基材料
2.3力学基础
2.3.1微梁
2.3.2压膜阻尼
2.3.3滑膜阻尼
2.3.4质量块-弹簧-阻尼系统
习题与思考题
参考文献
第3章微机电系统设计
3.1MEMS集成设计
3.1.1系统级设计
3.1.2器件级设计
3.1.3工艺级设计
3.1.4典型器件设计实例
3.2版图设计
3.2.1光刻掩膜版及其制备
3.2.2版图设计工具
3.2.3版图总体设计
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