微机电技术/新兴微纳电子技术丛书
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作者田文超//娄利飞
出版社西安电子科技大学出版社
ISBN9787560633350
出版时间2015-02
版次1
装帧平装
开本其他
纸张胶版纸
字数546千字
定价50元
货号SC:9787560633350
上书时间2024-09-16
商品详情
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作者简介:
田文超 西安电子科技大学教授，博士生导师。电子封装技术重量特色专业负责人，精密仪器及机械学科负责人。主持或参加国家自然科学基金、总装预研、陕西省自然科学基金、西安市创新基金、博士后基金等项目30余项，出版专著3部，发表论文90余篇，其中SCl／EI收录论文70余篇。获发明专利9项。主要研究方向为微机电技术、电子封装、机电控制和光电检测。
内容简介:
本书共分8章，比较全面的介绍了微机电技术概念、原理、材料、工艺、应用、关键技术、仿真设计以及封装方法。相比其它微机电系列书，本书对以下四个问题进行了论述：1）卡西米尔力、范德华力、微观连续介质等微尺度问题；2）屈曲弯曲、纵横弯曲、正交分析和拉格朗日―麦斯韦动力方程等问题；3）微机电粗糙面表述；4）微机电封装。此四个问题的叙述，对长期困扰微机电技术发展的粘附及释放、机电耦合、低压大位移驱动和封装等问题，具有重要的参考价值。
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