MEMS技术及应用
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作者蒋庄德等著
出版社高等教育出版社
ISBN9787040504781
出版时间2018-11
版次1
装帧精装
开本16开
纸张胶版纸
定价69元
货号SC:9787040504781
上书时间2024-06-25
商品详情
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作者简介:
蒋庄德，中国工程院院士，西安交通大学教授，英国伯明翰大学博士、名誉教授，澳大利亚新南威尔士大学客座教授；教育部科学技术委员会副主任兼战略研究指导委员会主任，国务院学位委员会学科评议组成员，中国机械工程学会副理事长，中国微米纳米技术学会副理事长等；教育部“微纳制造与测试技术”国际联合实验室主任。
长期从事微纳制造与优选传感技术、精密超精密加工与测试技术及装备等方面的研究，在高端MEMS传感技术及系列器件、数字化精密测量以及超精密加T技术与装备等工程科技领域成果卓著，在微纳米技术相关基础理论和生物检测技术及仪器等方面开展了创新性研究。获国家技术发明二等奖2项，国家科技进步二等奖1项，其他省部级奖励9项；获首届全国创新争先奖，何梁何利科学与技术进步奖，西安交通大学研究生教育突出贡献奖。发表学术论文600余篇。
内容简介:
蒋庄德等著的《MEMS技术及应用(高等学校教材)(精)/机械工程前沿著作系列/优选制造科学与技术丛书》讨论的主题是微机电系统(MEMS)这一前沿交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述，并随之对MEMS的典型应用进行分类介绍，为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作为对主体内容的补充和延伸，纳机电系统(NEMS)和石墨烯在本书的结尾部分被予以专门的讨论。为MEMS专业课程提供适用的本科和研究生教材是本书的出发点，为达此目的，本书在内容安排上注意基础理论知识和具体技术细节并重，力图体现作者对MEMS专业方向学生的培养理念和教学思路。
目录:
第1章 MEMS导论
1.1 概念与定义
1.2 优势与不足
1.3 历史与发展
1.4 产业与市场
第2章 MEMS结构
2.1 微尺度效应对微结构的影响
2.2 微加工工艺对微结构的影响
2.3 换能物理效应对微结构的影响
2.3.1 压电效应
2.3.2 静电效应
2.3.3 热胀效应
参考文献
第3章 MEMS材料
3.1 单晶硅
3.1.1 晶圆制备
3.1.2 晶体结构
3.1.3 力学性能
3.1.4 压阻特性
3.2 硅基薄膜
3.2.1 多晶硅
3.2.2 二氧化硅
3.2.3 氮化硅
3.2.4 碳化硅
3.3 其他材料
3.3.1 陶瓷
3.3.2 聚合物
3.3.3 金属
3.3.4 新兴材料
3.4 材料性能表征
3.4.1 纳米压人法
3.4.2 四探针法
参考文献
第4章 MEMS工艺
4.1 光刻
4.1.1 光刻原理
4.1.2 UV光刻版
4.1.3 UV光刻机
4.1.4 光刻流程
4.2 非等离子体硅微加工技术
4.2.1 薄膜淀积
4.2.2 刻蚀
4.2.3 材料改性
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