真空镀膜
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作者李云奇
出版社化学工业出版社
ISBN9787122127808
出版时间2012-08
版次1
装帧平装
开本16开
纸张胶版纸
页数310页
字数533千字
定价85元
货号SC:9787122127808
上书时间2024-04-28
商品详情
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内容简介:
《真空科学技术丛书：真空镀膜》是本着突出近代真空镀膜技术进步，注重系统性、强调实用性而编著的。全书共11章，内容包涵了真空镀膜中物理基础，各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求，各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控，真空镀膜工艺对环境的要求等。本书具有权威性、实用性和通用性。 《真空科学技术丛书：真空镀膜》可作为从事真空镀膜技术的技术人员、真空专业的本科生、研究生教材使用，亦可供镀膜、表面改型等专业和真空行业技术人员参考。
摘要:
真空科学技术是现代科学技术中应用最为广泛的高技术之一。制备超纯材料需要超高真空技术，太阳能薄膜电池及芯片制作需要清洁真空技术，航天器空间环境地面模拟设备需要大型真空容器技术。真空科学技术已渗透到人们的教学、科研、生产过程、经济活动以及日常生活中的方方面面，人们普遍认识到了真空科学技术的重要性。
真空科学技术是一门涉及多学科、多专业的综合性应用技术，它吸收了众多科学技术领域的基础理论和近期新成果，使自己不断地进步和发展。真空科学技术的应用标志着国家科学和工业现代化的水平，大力发展真空科学技术是振兴民族工业，实现国家现代化的基本出发点。
多年来，党和国家政府非常重视发展真空科学技术。大学设立了真空科学技术专业，培养高层次真空专业人才；兴办真空企业，设计、制造真空产品；成立真空科学技术研究所开发新技术，提高真空应用水平；建立了相当规模和水平的真空教学、科研和生产体系；独立自主地生产出各种真空产品，满足了各行业的需求，推动了社会主义经济的发展。
在取得丰硕的物质成果和经济效益的同时，真空科技人员积累了宝贵的理论认知和实践经验。在和真空科学技术摸、爬、滚、打的漫长岁月中，一大批人以毕生的精力，辛勤的劳动亲身经历了多少次失败的痛苦和成功的喜悦。通过深刻的思考与精心的整理换得了大量的实践经验，这些付出了昂贵代价得来的知识是书本上难以学到的。经历了半个世纪沧桑岁月，当年风华正茂的真空科技工作者均年事已高，霜染鬓须，退居二线。专享的希望是将自己积累的知识、技能、经验、教训通过文字载体传承给新一代的后来人，使他们能够在前人搭建的较高平台上工作。基于这一考虑，在兰州物理研究所支持下，我们聚集在一起，成立了《真空科学技术丛书》编写委员会，由全国高等院校、科研院所及企业中长期从事真空科学技术研制工作的工程技术人员组成。编写一套《真空科学技术丛书》，系统的、完整的从真空科学技术的基本理论出发，重点叙述应用技术及应用的典型例证。这套丛书分专业、分学科门类编写，强调系统性、理论性和实用性，避免重复性。这套丛书的出版是我国真空科学技术工作者大力合作的成果，汇集了我国真空科学技术发展的经验，希望这套丛书对21世纪我国真空科学技术的进步和发展起到推动作用，为实施科教兴国战略做出贡献。
这套丛书像流水一样持续不断，是不封闭的系列丛书，只要有相关著作就可以陆续纳入这套丛书出版。《丛书》可供大专院校师生，科学研究人员，工业、企业技术人员参考。
...
目录:
第1章真空镀膜概论
1.1概述
1.2影响固体表面结构、形貌及其性能的因素
1.2.1原子和分子构成固体物质
1.2.2多晶体物质结构
1.2.3材料受到的各种应力负荷
1.2.4材料加工所带来的缺陷
1.2.5基片表面涂敷硬质薄膜的必要性
1.3真空镀膜及其工艺特点和应赋予涂层的功能
1.4薄膜的特征
1.4.1薄膜的结构特征
1.4.2金属薄膜的电导特征
1.4.3金属薄膜电阻温度系数特征
1.4.4薄膜的密度特征
1.4.5薄膜的时效变化特征
1.5薄膜的应用
1.5.1电子工业用薄膜
1.5.2光学工业中应用的各种光学薄膜
1.5.3机械、化工、石油等工业中应用的硬质膜、耐蚀膜和润滑膜
1.5.4有机分子薄膜
1.5.5民用及食品工业中的装饰膜和包装膜
1.6真空镀膜的发展历程及近期新进展
参考文献
第2章真空镀膜技术基础
2.1真空镀膜物理基础
2.1.1真空及真空状态的表征和测量
2.1.2气体的基本性质
2.1.3气体的流动与流导
2.1.4气体分子与固体表面的相互作用
2.2真空镀膜低温等离子体基础
2.2.1等离子体及其分类与获得
2.2.2低气压下气体的放电
2.2.3低气压下气体放电的类型
2.2.4低气压下冷阴极气体辉光放电
2.2.5低气压非自持热阴极弧光放电
2.2.6低气压自持冷阴极弧光放电
2.2.7磁控辉光放电
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