微机电系统工程基础 大中专理科科技综合 蒋永刚 编
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作者蒋永刚 编
出版社北京航空航天大学出版社
ISBN9787512440227
出版时间2023-06
版次1
装帧平装
开本16
页数160页
字数256千字
定价39元
货号xhwx_1203068225
上书时间2024-12-14
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商品详情
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目录：
章微机电系统概述
1.1微机电系统的概念
1.2微机电系统工程的历史
1.3微机电系统工程的发展趋势
练题
第2章mems材料基础
2.1硅及其化合物
2.2玻璃
2.3压电材料
2.4磁材料
2.5形状记忆合金
2.6光刻胶
2.7有机聚合物材料
练题
第3章光刻及图形转移
3.1光刻的基本与流程
3.1.1光刻的基本
3.1.2光刻的基本过程
……
内容简介：
本书作为微机电系统工程的入门教材介绍微机电系统加工工艺及设计基础。全书共11章:章介绍微机电系统的概念、历史及发展趋势；第2章介绍微纳工程材料基础；第3章介绍光刻技术及其他图形化技术；第4章介绍表面微纳加工技术包括热氧化与掺杂工艺、物理气相沉积、化学气相沉积和电铸技术；第5章介绍微纳刻蚀加工技术包括湿法加工、等离子体刻蚀等；第6章介绍键合、封装工艺及其与集成电路的集成技术；第7章为微纳加工工艺综合举例介绍典型结构的微纳加工工艺流程；作为微机电系统的设计基础第8章介绍电子学与机械学的基本概念；第9章讲解换能器与典型材料结构；0章以压力传感器为例介绍mem传感器设计；1章简介微纳驱动器和执行器的基本与前沿应用案例。
本书具有很强的针对、实用和指导可以作为高等院校微机电系统工程专业的本科生及教材也可以作为从事微机电系统、微电子、传感器技术等专业工程技术人员的参书。
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