新型微纳传感器技术 电子、电工 赵玉龙//蒋庄德|责编:王烨//陈喆
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作者赵玉龙//蒋庄德|责编:王烨//陈喆
出版社化学工业
ISBN9787122423467
出版时间2022-12
版次1
装帧平装
开本16
页数244页
定价128元
货号304_9787122423467
上书时间2024-09-09
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商品详情
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主编：
1、本书既包含传感器的基础理论知识，又涵盖新型微纳传感器技术，具有丰富的传感器设计案例，能够深入浅出地讲解新型微纳传感器设计与制造，培养读者独立设计、创新分析和动手能力。
2、同目前外的类似著作相比，本书具有内容新颖、案例众多的特点，能够为本领域人员开展创新研究提供新的研究思路和技术方法，对推动微纳传感器技术的进步和产业化具有重要学术和应用价值。
目录：
章传感器的基本概念 1
1.1传感器的定义 1
1.2传感器的组成 1
1.3传感器的分类 2
1.4传感器的地位与作用 2
1.5传感器的发展动向 3
第2章传感器的特 5
2.1传感器的静态特 5
2.1.1测量范围、量程和满量程输出 5
2.1.2分辨力、阈值和灵敏度 6
2.1.3迟滞 7
2.1.4重复 8
2.1.5线度 9
2.1.6零漂与温漂 13
2.1.7精度 14
2.2传感器的动态特 18
2.2.1传感器动态响应的基本特点 18
2.2.2传递函数与频响特 20
2.2.3一阶系统的动态响应 23
2.2.4二阶系统的动态响应 26
2.2.5高阶系统的动态响应 31
2.2.6传感器动态响应的指标 31
2.2.7实验确定传递函数的方法 33
第3章mems压阻式传感器 38
3.1概述 38
3.2压阻效应 40
3.2.1压阻效应的定义与特点 40
3.2.2晶面与晶向 41
3.2.3压阻系数 42
3.3压阻式压力传感器 48
3.3.1膜结构的力敏电阻电桥设计 48
3.3.2梁-岛膜结构的力敏电阻电桥设计 56
3.4mems压阻式微加速度计 62
3.4.1硅微加速度计概述 62
3.4.2mems压阻式加速度计测量 62
3.4.3复合多梁mems压阻式加速度计 64
3.4.4孔缝结构mems压阻式加速度计 67
3.4.5高g值mems加速度计 69
参文献 72
第4章高温压力传感器 74
4.1耐高温压力传感器的应用需求和主要技术方法 74
4.1.1耐高温压力传感器的应用需求 74
4.1.2耐高温压力传感器主要技术方法 75
4.2soi高温压力传感器 78
4.2.1soi压阻传感器的耐高温工作 78
4.2.2合理掺杂浓度的设计 79
4.2.3soi耐高温敏感元件的制作工艺 81
4.3耐高温压力传感器的典型封装形式 84
4.3.1绝压与表压的芯片级封装 84
4.3.2齐膜高频响结构——倒杯式和c型杯式 85
4.3.3高可靠充油封装 85
4.3.4化无引线封装 86
4.4sic耐高温压力传感器敏感元件研制 87
4.4.1sic材料特 87
4.4.24h-sic高温压力传感器芯片设计 89
4.4.34h-sic高温压力传感器芯片制备 91
参文献 94
第5章mems振梁式谐振传感器 96
5.1谐振式传感器概述 96
5.1.1概述 96
5.1.2谐振现象与传感器 97
5.1.3特征和优势 98
5.2谐振式传感器的敏感机理及信号检测方式 99
5.2.1谐振敏感元件 99
5.2.2敏感机理 100
5.2.3信号检测方式 105
5.3典型的振梁式谐振加速度传感器结构及其工作 106
5.3.1硅振梁式谐振加速度传感器 106
5.3.2石英振梁式谐振加速度传感器 110
5.4典型的振梁式谐振压力传感器结构及其工作 117
5.4.1硅振梁式谐振压力传感器 117
5.4.2石英振梁式谐振压力传感器 121
参文献 122
第6章mems陀螺技术 124
6.1微机械陀螺的、分类与能 125
6.1.1科里奥利效应 125
6.1.2微机械陀螺的分类 126
6.1.3微机械陀螺的能指标 127
6.2振梁式硅mems陀螺分析 129
6.2.1音式硅微机械陀螺 129
6.2.2振动轮式硅微机械陀螺 130
6.3石英音微机械陀螺 131
6.3.1石英音陀螺的工作 131
6.3.2驱动与检测 133
6.3.3驱动稳幅稳频振动控制技术 134
6.3.4角速度（电荷）检测技术 139
6.3.5几种典型的石英音陀螺 139
参文献 141
第7章智能加工切削力传感器 143
7.1切削力概述 143
7.1.1切削力的来源 143
7.1.2切削力测量的重要 144
7.2切削力传感器的研究与发展 144
7.2.1切削力传感器研究早期探索阶段 144
7.2.2切削力传感器快展阶段 145
7.2.3切削力传感器商业化阶段 147
7.2.4智能刀具切削力传感器 148
7.3集成化三维车削力传感器设计制造与测试 150
7.3.1传感器设计与方法 150
7.3.2传感器制造与封装技术 157
7.3.3传感器能测试与分析 160
参文献 164
第8章基于非晶碳薄膜压阻效应的新型压力传感器 166
8.1非晶碳膜压阻材料基础 166
8.1.1非晶碳膜材料表征 166
8.1.2非晶碳膜制备工艺研究 168
8.1.3非晶碳膜能研究 170
8.2非晶碳膜的mems压阻式微压力传感器设计及加工 173
8.2.1非晶碳膜微压力传感器设计 173
8.2.2传感器芯片的封装方案设计 175
8.3基于非晶碳膜的mems压阻式微压力传感器能测试 176
8.3.1静态能测试 176
8.3.2时间/温度漂移测试 177
参文献 177
第9章mems微爆轰测试传感器 179
9.1爆压测试方法 179
9.1.1动量守恒法 180
9.1.2阻抗匹配法 181
9.2mems微爆轰压力传感器 188
9.2.1爆压测试方法分析 188
9.2.2mems微爆轰压力传感器设计 189
9.2.3传感器动态标定 190
9.2.4微爆轰实验测试 191
9.3爆速测试方法 193
9.3.1离散法 193
9.3.2连续法 195
9.4mems微爆轰速度传感器 196
9.4.1爆速测试方法分析 197
9.4.2mems微爆轰速度传感器设计 197
9.4.3mems微爆轰速度传感器实验测试 198
9.4.4爆速测试数据处理 199
参文献 200
0章大输出位移电热微执行器 202
10.1微执行器概述 202
10.1.1微执行器基本概念 202
10.1.2微执行器外研究现状 203
10.2大输出位移电热微执行器驱动机理与结构设计 207
10.2.1电热微执行器类型 207
10.2.2电热微执行器驱动 208
10.2.3位移放大机构设计 218
10.3大输出位移电热微执行器的应用 221
10.3.1基于三角放大机构的电热执行器 221
10.3.2基于柔杠杆放大机构的电热执行器 222
10.3.3基于微弹簧放大机构的电热执行器 224
参文献 226
1章超高温传感技术 228
11.1引言 228
11.2薄膜热电偶测温技术 228
11.2.1金属型薄膜热电偶测温技术 228
11.2.2氧化物型薄膜热电偶测温技术 235
11.2.3大曲率涡轮叶片薄膜温度传感研究 238
参文献 243
内容简介：
本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构，阐述微纳传感器的基本、优势特点与应用。本书主要介绍单晶硅压阻、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、mem电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。
本书可供高等院校传感器技术、微机电系统、测控技术与仪器、自动化工程、机电一体化及仪器仪表等专业的师生作为教材使用，也可供从事传感器、mem、仪器仪表等相关专业的技术人员学参。
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