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超大规模集成电路技术基础

93 八五品

仅1件

上海奉贤
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作者李兴

出版社电子工业出版社

出版时间1999-05

版次1

装帧平装

货号1468-9787505351950

上书时间2024-10-01

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品相描述:八五品
有笔记
图书标准信息
  • 作者 李兴
  • 出版社 电子工业出版社
  • 出版时间 1999-05
  • 版次 1
  • ISBN 9787505351950
  • 定价 35.00元
  • 装帧 平装
  • 开本 其他
  • 纸张 其他
  • 页数 255页
【目录】
绪论第一章  硅的晶体结构第二章  光刻第三章  掺杂第四章  氧化及热处理第五章  薄膜工艺基础与物理气相沉积第六章  化学汽相沉积(VCD)第七章  刻蚀第八章  平坦化及多重内连线工艺第九章  超大规模集成电路工艺汇总
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