超大规模集成电路技术基础
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八五品
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作者李兴
出版社电子工业出版社
出版时间1999-05
版次1
装帧平装
货号1468-9787505351950
上书时间2024-10-01
商品详情
- 品相描述:八五品
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有笔记
图书标准信息
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作者
李兴
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出版社
电子工业出版社
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出版时间
1999-05
-
版次
1
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ISBN
9787505351950
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定价
35.00元
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装帧
平装
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开本
其他
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纸张
其他
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页数
255页
- 【目录】
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绪论第一章 硅的晶体结构第二章 光刻第三章 掺杂第四章 氧化及热处理第五章 薄膜工艺基础与物理气相沉积第六章 化学汽相沉积(VCD)第七章 刻蚀第八章 平坦化及多重内连线工艺第九章 超大规模集成电路工艺汇总
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