MEMS压力传感器理论与技术

图书标准信息

• 作者 蒋庄德 著
• 出版社 高等教育出版社
• 出版时间 2023-08
• 版次 1
• ISBN 9787040604689
• 定价 99.00元
• 装帧 其他
• 开本 16开
• 纸张 胶版纸
• 页数 372页

【内容简介】

微机电系统（MEMS）具有尺寸微小、片内集成、批量制造、材料宽泛的技术特征，因而成为先进传感器技术的主流发展方向。微型化、智能化和网络化的压力传感器在高端装备、智能制造、机器人、物联网等新兴领域具有很大的应用潜力。 本书将作者团队多年来在该领域的科研积累融为一炉，从相关基础理论出发，论述了MEMS压力传感器的主流工艺、器件静动态测试、芯片电路等关键技术，并详细讨论了多种原创、特种、高端的MEMS压力传感器件，对我国MEMS压力传感器的科研和产业发展将产生巨大的推动作用。本书适合MEMS及传感器领域的研究生、高年级本科生以及广大科研人员阅读和参考。