精密纳米计量学
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作者（日）高伟 著
出版社国防工业出版社
ISBN9787118124668
出版时间2022-04
装帧平装
开本16开
纸张胶版纸
定价98元
货号29417291
上书时间2024-07-24
商品详情
- 品相描述：全新
- 正版全新
- 商品描述
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【作者简介】:
李雷，男，2014年毕业后进入中国电子技术标准化研究院工作，历任计量与检测中心助理工程师、工程师，现任计量与检测中心 制造与长热力组组长。主要从事微电子领域发展规划编写、前沿技术研究、军工计量科研攻关、设备检定与校准工作。
【目录】:
1测量表面坡度和倾斜运动的角度传感器
1.1简介；1.2带有象限光电二管的角度传感器；1.3带有光电二管阵列的角度传感器；1.4带有单元光电二管的角度传感器；1.5小结；1.6参考
2用于测量多轴倾斜运动的激光自准直仪
2.1引言；2.2双轴激光自准直仪；2.3单镜头激光微自准直仪；2.4三轴激光自准直仪；2.5总结
3用于测量面内运动的表面编码器
3.1引言；3.2用于MDOF面内运动的表面编码器；3.3两轴正弦网格表面编码器的制造；3.4表面编码器在表面电机驱动平面阶段的应用；3.5总结；3.6参考文献
4用于测量平面内和平面外运动的光栅编器
4.1介绍；4.2二自由度线性光栅编码器；4.3带正弦网格的三轴光栅编码器；4.4矩形XY网格的三轴光栅编码器；4.5总结；4.6参考文献
5测量圆度的扫描多探针系统
5.1介绍；5.2坡度传感器方法；5.3混合方法；5.4总结；5.5参考文献
6测量直线度的扫描误差分离系统
6.1简介；6.2具有自调零的三位移传感器方法；6.3机床滑块的误差分离方法；6.4总结；6.5参考
7微型非球面的测量的扫描微型手写笔系统
7.1简介；7.2扫描错误动作补偿；7.3微型探针；7.4微型非球面的小型测量仪器；7.5总结；7.6参考文献
8用于微纹理表面的大面积扫描探针显微镜
8.1简介；8.2电容式传感器补偿扫描探针显微镜；8.3线性编码器补偿扫描探针显微镜；8.4螺旋扫描探针显微镜；8.5总结；8.6参考
9测量三维纳米结构的自动对准扫描探针显微镜系统
9.1简介；9.2自动对准光学探针；9.3自动对准AFM的仪器；9.4小结；9.5参考
10用于测量微小尺寸的扫描图像传感器系统
10.1介绍；10.2微宽度测量的扫描区域图像传感器；10.3微小半径测量的扫描线图像传感器；10.4总结；10.5参考
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