金刚石薄膜沉积制备工艺与应用

图书标准信息

• 作者 戴达煌、周克崧 编著
• 出版社 冶金工业出版社
• 出版时间 2001
• ISBN 9787502427757
• 定价 20.00元
• 装帧 平装
• 开本 21cm
• 页数 208页
• 正文语种 简体中文
• 丛书 21世纪新材料科学与技术丛书

【内容简介】

本书阐述了各种沉积薄膜的制备方法；论述了金刚石薄膜的非平衡热力学和金刚石膜生长的动力学因素；同时介绍了性能接近金刚石膜的类金刚石膜的制备工艺、性能和应用。