基于脉冲激光沉积富硼B-C薄膜的关键技术研究

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北京朝阳

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作者章嵩著

出版社科学出版社

ISBN9787030553331

出版时间2017-11

版次1

装帧平装

开本小16开

定价38元

货号R_9110053

上书时间2024-04-05

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商品描述: 《基于脉冲激光沉积富硼B-C薄膜的关键技术研究》旨在利用脉冲激光沉积技术，将其分别采用碳化硼陶瓷靶与硼碳拼合靶为靶材。通过对靶材成分、组成形式及沉积温度等工艺参数的调整，得到表面平整、厚度均匀及成分可控的富硼B-C薄膜，建立靶材成分、组成形式和沉积温度等工艺参数与薄膜组成、结构之间的关系，对该系列薄膜的生长机行分析研究。

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