半导体工艺和器件软件silvaco tcad实用教程 电子、电工 唐龙谷 编 新华正版
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作者唐龙谷 编
出版社清华大学出版社
ISBN9787302354314
出版时间2014-07
版次1
装帧平装
开本16
页数248页
字数373千字
定价45元
货号xhwx_1203180003
上书时间2024-12-17
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商品详情
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目录：
章 基础
1．1 tcad
1．1．1 数值计算
1．1．2 基于物理的计算
1．2 silvacotcad
1．2．1 主要组件
1．2．2 目录结构
1．2．3 文件类型
1．3 deckbuild
1．3．1 deckbuild preferences
1．3．2 语法格式
1．3．3 go
1．3．4 set
1．3．5 tonyplot
1．3．6 extract
1．4 学方法
思题与题
第2章 二维工艺
2．1 athena概述
2．2 工艺流程
2．2．1 定义网格
2．2．2 衬底初始化
2．2．3 工艺步骤
2．2．4 提取特
2．2．5 结构作
2．2．6 tonyplot显示
2．3 单项工艺
2．3．1 离子注入
2．3．2 扩散
2．3．3 淀积
2．3．4 刻蚀
2．3．5 外延
2．3．6 抛光
2．3．7 光刻
2．3．8 硅化物
2．3．9 电极
2．3．10 帮助
2．4 集成工艺
2．5 优化
2．5．1 优化设置
2．5．2 待优化参数
2．5．3 优化目标
2．5．4 优化结果
思题与题
……
第3章 二维器件
第4章 器件-电路混合
第5章 特
参文献
内容简介：
为了满足半导体工艺和器件及其相关领域人员对计算机知识的需求，帮助其掌握当前的计算机工具，特编写本书。本书以ilvacotcad2012为背景，由浅入深、循序渐进地介绍了ilvacotcad器件基本概念、deckbuild集成环境、tonyplot显示工具、athena工艺、alta器件、mixedmode器件一电路混合以及c注释器等工具。本书内容丰富、层次分明、突出实用，注重语法的学，例句和配图非常丰富；所附光盘含有书中具有独立功能的例句的完整程序、ppt和大量学资料。读者借助本书的学可以实现快速入门，且能深入理解tcad的应用。本书既可以作为高等学校微电子或电子科学与技术专业高年级本科生和的教材，也可供相关专业的工程技术人员学和参。
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