光学薄膜技术（第3版）

图书标准信息

• 作者 卢进军
• 出版社 电子工业出版社
• 出版时间 2020-04
• 版次 3
• ISBN 9787121385810
• 定价 59.90元
• 装帧 其他
• 开本 16开
• 纸张 胶版纸
• 页数 256页
• 字数 512千字

【内容简介】

本书系统地介绍薄膜光学的基本理论和器件设计的基本方法，适当地介绍一些新设计方法、新器件设计、新工艺技术。 全书共7章，主要内容包括：薄膜光学基础，器件设计方法，薄膜制造基本方法，高质量光学薄膜器件的工艺方法，光学薄膜材料，光学薄膜特性测试，功能薄膜及其应用。

【作者简介】

卢进军，西安工业大学光电学院教授，从事光学领域的教学、科研工作，主编教材《光学薄膜技术》。

【目录】

第1章薄膜光学特性计算基础 

11引言 

12单一界面的反射率和透射率 

13单层介质膜的反射率 

131单层介质膜与基底组合的等效光学导纳 

132单层介质膜的光学特性 

14多层介质膜的反射率和透射率 

15金属薄膜的光学特性 

16光学零件的反射率和透射率 

17光学薄膜的色度表征与计算 

171光学薄膜的透、反射率光谱与颜色 

172CIE1931标准色度系统简介 

173薄膜颜色的色度学表征 

思考题与习题 

第2章介质膜系及其应用 

21减反射膜 

211单层减反射膜 

212双层减反射膜 

213多层减反射膜 

214高折射率基底的减反射膜 

215含吸收层的防眩光减反射膜 

22高反射膜 

221周期性多层膜堆的反射率 

222（LH）S周期性多层膜堆的高反射带 

223高反射带的展宽 

224倾斜入射时的高反射带 

225金属反射膜 

23中性分束膜 

231介质中性分光镜 

232偏振中性分束棱镜 

233金属中性分光镜 

24截止滤光片 

241多层膜堆的通带透射率 

242通带波纹的压缩 

243通带的展宽和压缩 

244截止波长和截止带中心的透射率 

245截止滤光片倾斜使用时的偏振效应 

246截止滤光片的应用 

25带通滤光片 

251法布里-珀罗滤光片特性 

252全介质法布里-珀罗滤光片 

253诱导透射滤光片 

254法布里-珀罗滤光片的最新应用 

255宽带通滤光片 

26偏振分束膜 

261胶合棱镜介质偏振分光膜 

262平板介质偏振分光镜 

263金属栅偏振分光镜 

27消偏振膜系 

271单波长消偏振 

272受抑全反射宽波段消偏振分光镜 

273金属-介质组合膜堆宽波段消偏振 

274消偏振截止滤光片 

思考题与习题 

第3章光学薄膜制造技术 

31光学真空镀膜机 

32真空与物理气相沉积 

33真空获得与检测 

331真空泵 

332低温冷凝泵 

333PVD使用的高真空系统 

334真空度的检测 

34热蒸发 

35溅射 

351辉光放电溅射 

352磁控溅射 

353离子束溅射 

354离子、靶材与溅射率 

36离子镀 

37离子辅助镀 

38等离子体增强化学气相沉积 

381PECVD过程的动力学 

382PECVD装置 

思考题与习题 

第4章光学薄膜制造工艺 

41光学薄膜器件的质量要素 

42影响膜层质量的工艺要素 

421影响薄膜器件质量的工艺要素及作用机理 

422提高膜层机械强度的工艺途径 

423控制膜层折射率的主要工艺途径 

424获得致密膜层的方法 

43获得精确厚度的方法 

431目视法 

432极值法 

433光电定值法 

434任意膜厚的单波长监控 

435石英晶振法 

436宽光谱膜厚监控 

44获得均匀膜层的方法 

441影响膜层厚度均匀性的因素 

442获得均匀膜层厚度的途径 

思考题与习题 

第5章薄膜材料及其性质 

51薄膜的微观结构与性质 

511薄膜结构的材料学基础 

512薄膜的光学性质 

513薄膜的力学性质 

52常用光学薄膜材料 

521金属薄膜 

522介质薄膜 

523特殊材料 

思考题与习题 

第6章光学薄膜特性测试与分析 

61光学薄膜特性的检测标准 

611国标（JB/T 6179—92）中规定的光学零件镀膜的分类、符号及标注 

612国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜检测项目 

613国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜试验方法 

614国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜检验规则 

62薄膜透射率、反射率的测量 

621光谱仪的基本原理 

622薄膜透射率的测量 

623薄膜反射率的测量 

63薄膜光学常数和厚度的测量 

631光度法确定薄膜的光学常数 

632椭圆偏振法确定薄膜的光学常数 

633薄膜厚度的测量 

64薄膜吸收和散射的测量 

641薄膜吸收损耗的测量 

642薄膜散射损耗的测量 

65薄膜激光损伤阈值的测量 

651薄膜激光损伤的机理分析 

652薄膜激光损伤阈值的测量标准及方法 

653薄膜抗激光损伤阈值测量中应注意的几个问题 

66薄膜非光学特性的检测 

661薄膜附着力的测量 

662薄膜应力的测量 

663薄膜的环境试验 

664薄膜结构和化学成分检测 

思考题与习题 

第7章功能薄膜及其应用 

71透明导电薄膜 

711透明导电薄膜的分类 

712透明导电薄膜的基本特性 

713透明导电氧化物薄膜的制备 

714透明导电氧化物薄膜的特性测试 

715透明导电氧化物薄膜的应用 

72太阳能薄膜 

721太阳能光热转换薄膜 

722太阳能光电转换薄膜 

73超硬薄膜材料 

731金刚石薄膜 

732类金刚石（DLC）薄膜 

733立方氮化硼薄膜 

734CNx薄膜 

735其他硬质薄膜 

74相位膜 

741屋脊棱镜的偏振像差 

742矫正偏振像差的相位膜 

743屋脊棱镜偏振像差的表征与检测 

思考题与习题 

附录A常见薄膜材料参数 

参考文献