微传感器、微机电系统和灵巧器件/国际知名大学原版教材

图书标准信息

• 作者 韦德尔卡姆 著；加德纳；瓦拉旦
• 出版社 清华大学出版社
• 出版时间 2004-03
• 版次 1
• ISBN 9787302081227
• 定价 55.00元
• 装帧 平装
• 开本 其他
• 纸张 胶版纸
• 页数 503页

【内容简介】

微传感器、微机电系统（MEMS，micro=electro=mechanical systems）正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统（microsystems）或片上系统（system-on-a-chip）将微电子电路和微执行器结合在一起，形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍微传器技术，并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来，适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读。由于本书内容丰富全面，对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。

【目录】

Preface

About the Authors

Acknowledgments

1 Introduction 

2 Electronic Materials and Processing 

3 MEMS Materials and their Preparation 

4 Standard Microelectronic Technologies

5 Silicon Micromachining:Bulk

6 Silicon Micromachining:Surface

7 Microstereolithography for MEMS

8 Microsensors

9 Introduction to SAW Devices

10 Surface Acoustic Waves in Solids

11 IDT Microsensor Parameter Measurement

12 IDT Microsensor Fabrication

13 IDT Microsensors

14 MEMS-IDT Microsensors

15 Smart Sensors and MEMS

Appendices

Index