• 衍射极限附近的光刻工艺
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衍射极限附近的光刻工艺

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作者伍强

出版社清华大学出版社

ISBN9787302537427

出版时间2020-02

版次1

装帧其他

开本16开

纸张胶版纸

页数653页

字数1027千字

定价168元

货号xhsj-HZ

上书时间2024-12-25

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