半导体干法刻蚀技术
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北京房山
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作者(日)野尻一男著
出版社机械工业出版社
ISBN9787111742029
出版时间2024-01
装帧平装
开本16开
定价89元
货号14771547
上书时间2024-12-20
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目录
译者序 第2版前言 第1版前言 第1章 半导体集成电路的发展与干法刻蚀技术 1.1 干法刻蚀的概述 1.2 干法刻蚀的评价参数 1.3 干法刻蚀在 LSI的高度集成中的作用 参考文献 第2章 干法刻蚀的机理 2.1 等离子体基础知识 2.1.1 什么是等离子体 2.1.2 等离子体的物理量 2.1.3 等离子体中的碰撞反应过程 2.2 离子鞘层及离子在离子鞘层中的行为 2.2.1 离子鞘和 Vdc 2.2.2 离子鞘层中的离子散射 2.3 刻蚀工艺的设置方法 2.3.1 干法刻蚀的反应过程 2.3.2 各向异性刻蚀的机理 2.3.3 侧壁保护工艺 2.3.4 刻蚀速率 2.3.5 选择比 2.3.6 总结 参考文献 第3章 各种材料刻蚀 3.1 栅极刻蚀 3.1.1 多晶硅的栅极刻蚀 3.1.2 CD的晶圆面内均匀性控制 3.1.3 WSi2/多晶硅的栅极刻蚀 3.1.4 W/WN/多晶硅的栅极刻蚀 3.1.5 Si衬底刻蚀 3.2 SiO2刻蚀 3.2.1 SiO2刻蚀机理 3.2.2 SiO2刻蚀的关键参数 3.2.3 SAC刻蚀 3.2.4 侧墙刻蚀 3.3 布线刻蚀 3.3.1 Al布线刻蚀 3.3.2 Al布线的防后腐蚀处理技术 3.3.3 其他布线材料的刻蚀 3.4 总结 参考文献 第4章 干法刻蚀设备 4.1 干法刻蚀设备的历史 4.2 桶式等离子体刻蚀机 4.3 CCP等离子体刻蚀机 4.4 磁控管 RIE 4.5 ECR等离子体刻蚀机 4.6 ICP等离子体刻蚀机 4.7 干法刻蚀设备实例 4.8 静电卡盘 4.8.1 静电卡盘的种类及吸附原理 4.8.2 晶圆温度控制的原理 参考文献 第 5章 干法刻蚀损伤 5.1 Si表面层引入的损伤 5.2 电荷积累损伤 5.2.1 电荷积累损伤的评估方法 5.2.2 产生电荷积累的机理 5.2.3 各种刻蚀设备的电荷积累评估及其降低方法 5.2.4 等离子体处理中栅氧化膜击穿的机理 5.2.5 因图形导致的栅氧化膜击穿 5.2.6 温度对栅氧化膜击穿的影响 5.2.7 基于器件设计规则的电荷积累损伤对策 参考文献 第6章 新的刻蚀技术 6.1 Cu大马士革刻蚀 6.2 Low-k刻蚀 6.3 使用多孔 Low-k的大马士革布线 6.4 金属栅极 /High-k刻蚀 6.5 FinFET刻蚀 6.6 多重图形化 6.6.1 SADP 6.6.2 SAQP 6.7 用于 3D NAND/DRAM的高深宽比孔刻蚀技术 6.8 用于 3D IC的刻蚀技术 参考文献 第 7章 原子层刻蚀（ALE） 7.1 ALE的原理 7.2 ALE的特性 7.2.1 Si、GaN和 W的 ALE工艺顺序 7.2.2 自限性反应 7.2.3 去除步骤中 EPC的离子能量依赖性 7.2.4 表面平坦度 7.3 ALE的协同效应 7.4 影响 EPC和溅射阈值的参数 7.5 SiO2 ALE 7.6 总结 参考文献 第 8章 未来的挑战和展望 8.1 干法刻蚀技术革新 8.2 今后的课题和展望 8.3 工程师的准备工作 参考文献
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刻蚀是芯片制造核心工艺，《半导体干法刻蚀技术（原书第2版）》是泛林集团日本公司CTO四十多年研发经验的结晶。泛林集团是全球第三大芯片设备提供商、全球第一大刻蚀设备提供商。《半导体干法刻蚀技术（原书第2版）》是系统理解刻蚀基础、设备及应用的实践指南，全书无复杂的数学公式，初学者也能轻松看懂的刻蚀书。
精彩内容
《半导体干法刻蚀技术（原书第2版）》是一本全面系统的干法刻蚀技术论著。针对干法刻蚀技术，在内容上涵盖了从基础知识到近期新技术，使初学者能够了解干法刻蚀的机理，而无需复杂的数值公式或方程。《半导体干法刻蚀技术（原书第2版）》不仅介绍了半导体器件中所涉及材料的刻蚀工艺，而且对每种材料的关键刻蚀参数、对应的等离子体源和刻蚀气体化学物质进行了详细解释。《半导体干法刻蚀技术（原书第2版）》讨论了具体器件制造流程中涉及的干法刻蚀技术，介绍了半导体厂商实际使用的刻蚀设备的类型和等离子体产生机理，例如电容耦合型等离子体、磁控反应离子刻蚀、电子回旋共振等离子体和电感耦合型等离子体，并介绍了原子层沉积等新型刻蚀技术。
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