• 抗蚀剂及其微细加工技术
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抗蚀剂及其微细加工技术

120 6.5 七品

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甘肃兰州
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作者顾振军,孙 猛主编

出版社上海交通大学出版社

ISBN9787313006172

出版时间1989-03

版次一版一印

印刷时间1989-03

装帧平装

开本16开

页数236页

定价6.5元

上书时间2017-03-23

   商品详情   

品相描述:七品
馆藏,封面封底有破损
商品描述
本书以作为微电子器制造时的核心的抗蚀剂及其微细加工技术为对象,就其定义、沿革、工艺、反应理论、配套技术、各类抗蚀剂、分析测试及应用、展望等进行了全面详述。

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