衍射极限附近的光刻工艺
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北京朝阳
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作者伍强
出版社清华大学出版社
ISBN9787302537427
出版时间2020-02
版次1
装帧其他
开本16开
纸张胶版纸
页数653页
字数1027千字
定价168元
货号9787302537427
上书时间2025-01-07
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