硅MEMS工艺与设备基础
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作者阮勇、尤政 编
出版社国防工业出版社
ISBN9787118117400
出版时间2018-12
版次1
装帧平装
开本16开
纸张胶版纸
页数463页
字数550千字
定价160元
货号814_9787118117400
上书时间2024-12-10
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