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微电子机械系统

25 8.9折 28 八五品

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陕西西安
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作者姜岩峰编著

出版社化学工业出版社

ISBN9787502581589

出版时间2006

装帧平装

页数194页

定价28元

上书时间2017-08-19

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   商品详情   

品相描述:八五品
商品描述
本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容,对该领域的热点研究问题进行了探讨。

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