射频等离子体物理基础王友年,宋远红,张钰如编新华文轩网络书店正版图书

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江苏无锡

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作者王友年

出版社科学出版社

ISBN9787030779922

出版时间2024-05

版次1

装帧平装

开本其他

页数454页

定价98元

货号1203266528

上书时间2024-05-17

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商品描述: 本书较为全面、系统地介绍了低气压非热平衡等离子体的物理基础和射频等离子体特性。全书分两大部分，其中第一部分为第1~8章，主要介绍低温等离子体的物理模型，包括概述、碰撞模型、粒子模型、动理学模型、流体力学模型、稳态输运模型、射频鞘层模型、整体模型等;第二部分为第9~14章，侧重介绍不同类型的射频放电和射频等离子体特性，如容性耦合等离子体、甚高频容性耦合等离子体中的电磁效应、柱状线圈感性耦合等离子体、平面线圈感性耦合等离子体、螺旋波等离子体和电子回旋共振微波等离子体。

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