RF MEMS器件与技术

图书标准信息

• 作者 郭兴龙
• 出版社 江苏大学出版社
• 出版时间 2021-11
• 版次 1
• ISBN 9787568417235
• 定价 48.00元
• 装帧 其他
• 开本 16开
• 纸张 胶版纸
• 页数 184页
• 字数 310千字

【内容简介】

rf mem（频微机电系统）是mem（micro electromechanical ytem微机电系统）技术的重要应用领域之一。本书内容覆盖了rf mem的理论、设计和大部分rf mem器件，rf mem技术可望实现和mmic的高度集成，使制作集信息的采集、处理、传输、处理和执行于一体的系统集成芯片（oc）成为可能。本书适合高等院校微电子技术、微波技术、集成电路专业、电子科学与技术、电子信息专业、微机电系统（mem）技术领域的高年级本科生、及工程技术人员阅读使用。

【目录】

 

 

 

目    录

 

 

 

 

第 1 章    绪    论      (001)

1 . 1    MEMS 基本特点    (001)

1 . 2    MEMS 在各学科领域的应用研究    (003)

1 . 3    MEMS 研究内容    (005)

1 . 4    MEMS 发展简史    (006)

1 . 5    工艺的发展   (007)

第 2 章   微机电系统力学基础     (009)

1MEMS 尺寸效应    (009)

2    微机械的弹性梁力学问题 (011)

3流体力学   (012)

4黏附力   (013)

5静电力    (015)

参考文献     (016)

第 3 章   MEMS 工艺    (017)

3 . 1     光刻    (017)

3 . 2    淀积    (018)

3 . 3    腐蚀    (019)

3 . 4    键合    (020)

3 . 5    MEMS 工艺的发展趋势    (026)

第 4 章   RF MEMS 器件设计微波基础     (028)

4 . 1    微带传输线   (028)

4 . 2    慢波共面波导传输线   (029)

4 . 3    两端口微波网络    (032)

4 . 4    微波滤波网络    (035)

4 . 5    微尺度下微机械天线的电磁辐射和耦合理论   (036)

4 . 6    分形结构原理    (040)

 

 

4 . 7    分形天线的形式结构    (041)

4 . 8    分形自相似滤波原理   (044)

4 . 9    小结    (045)

参考文献     (046)

第 5 章   RF MEMS 可重构天线     (050)

5 . 1     概述    (050)

5 . 2    典型的微波硅基 MEMS 可重构天线设计    (052)

5 . 3    硅基可重构天线设计   (057)

5 . 4    掩膜版的制作    (059)

5 . 5    天线的测试结果    (060)

5 . 6    典型的硅基 MEMS 可重构分形天线设计    (062)

5 . 7    Koch , Single-Arm  Spiral , Double-Ring 分形天线的设计      (067)

5 . 8    小结    (073)

参考文献     (074)

第 6 章   RF MEMS 可重构滤波器     (076)

6 . 1     概述    (076)

6 . 2    分布参数法设计微波滤波器   (079)

6 . 3    传输线理论基础    (080)

6 . 4    带通滤波器的设计方法   (083)

6 . 5    典型的 RF MEMS 可调滤波器     (088)

6 . 6    典型的电磁带隙技术滤波器   (097)

6 . 7    基于 MEMS 技术的 EGS 结构用于可重构低通滤波器的设计举例      (103)

6 . 8    MEMS 滤波器的未来发展    (109)

参考文献     (110)

第 7 章   RF MEMS 可重构匹配网络     (114)

7 . 1     概述    (114)

7 . 2    RF MEMS 可重构匹配网络设计方法      (116)

7 . 3    RF MEMS 可重构匹配网络上的电流      (119)

7 . 4    RF MEMS 可重构匹配网络举例      (119)

参考文献     (123)

第 8 章   RF MEMS 谐振器     (127)

8 . 1     概述    (127)

8 . 2    RF MEMS 谐振器基本知识      (128)

 

 

8 . 3    RF MEMS 谐振器工艺      (130)

8 . 4    RF MEMS 谐振器研究      (131)

8 . 5    结论    (137)

参考文献     (139)

第 9 章   MEMS 模拟与仿真    (142)

9 . 1    有限元分析介绍   (142)

9 . 2    有限元法分析计算的思路和做法   (143)

9 . 3    COMSOL Multiphysics 软件       (144)

9 . 4    COMSOL 二次开发工具    (148)

9 . 5    其他微机电模拟仿真软件   (149)

9 . 6    微机电模块    (156)

第 10 章   微机电系统材料   (157)

1硅     (157)

2砷化镓      (163)

3MEMS 中的陶瓷材料      (163)

4    形状记忆合金材料    (164)

5    MEMS  中的磁致伸缩材料   (167)

6MEMS 中的流变体      (167)

第 11 章   MEMS 的发展趋势      (170)

11 . 1    可调谐的网络及其滤波器     (170)

11 . 2    开关     (171)

11 . 3    变容器和电感器      (171)

11 . 4    电路和移相器      (171)

11 . 5    小结     (172)

11 . 6    后续     (172)

参考文献     (175)