一本书读懂芯片制程设备
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北京朝阳
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作者王超[等]编著
出版社机械工业出版社
ISBN9787111720416
出版时间2023-02
版次1
装帧平装
开本其他
定价99元
货号R_12250678
上书时间2024-01-26
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商品详情
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- 商品描述
- 本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域（集成电路及专用设备）等重大需求，编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石，是各国竞相角逐的“国之重器”，也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备位于集成电路产业链的上游，贯穿芯片制造全过程，是决定产业发展的关键一环。本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备，并着重分析了芯片制程设备的国内外市场环境；然后，针对具体工艺技术涉及的设备，详细综述了设备原理及市场况；并对我国集成电路芯片制程设备的发展做结展望。本书可为制造业企业和研究机构提供参考，也可供对集成电路芯片制程设备感兴趣的读者阅读。
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