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作者阮勇,尤政编著
出版社国防工业出版社
ISBN9787118117400
出版时间2016-12
装帧平装
开本其他
定价160元
货号9461437
上书时间2024-10-06
第一章 MEMS技术与器件发展概述
1.1 概述
1.2 MEMS器件
1.2.1 MEMS振荡器
1.2.2 MEMS麦克风
1.2.3 MEMS微镜头
1.2.4 数字微镜器件/数字光学投影技术
1.2.5 MEMS压力传感器
1.2.6 MEMS运动测量器件
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