正版 光刻机像质检测技术（下册） 9787030673558
9787030673558
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北京东城
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作者王向朝等
出版社科学出版社
ISBN9787030673558
出版时间2010-01
装帧平装
开本16开
货号646692056518
上书时间2024-06-08
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名称：光刻机像质检测技术（下册）
作者：王向朝等
品相：全新
出版时间：2010-01
装订：平装
ISBN：9787030673558
开本：16开
出版社：科学出版社
商品描述：
\ \ \ 内容介绍 \ \ 光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。 \ \ \ 目录 \ \ 目录 \ (下册) \ 序言 \ 前言 \ 第7章 基于原位PMI的波像差检测 1 \ 7.1 Shack-Hartmann检测技术 1 \ 7.2 线衍射干涉检测技术 4 \ 7.3 Ronchi剪切干涉检测技术 5 \ 7.3.1 在光刻机中的应用 5 \ 7.3.2 干涉场的理论分析 6 \ 7.3.3 相位提取技术 16 \ 7.3.4 波前重建技术 28 \ 7.3.5 实验系统参数设计与实验结果 38 \ 7.4 多通道Ronchi剪切干涉检测技术 43 \ 7.4.1 稀疏采样法波前重建 44 \ 7.4.2 多通道检测系统设计 53 \ 参考文献 54 \ 第8章 偏振像差检测 57 \ 8.1 偏振像差对光刻成像质量的影响 57 \ 8.2 偏振像差表征方法 62 \ 8.2.1 偏振态及其变换的表征方法 62 \ 8.2.2 穆勒矩阵表征法 66 \ 8.2.3 琼斯矩阵表征法 69 \ 8.2.4 三阶琼斯矩阵表征法 79 \ 8.3 基于光刻胶曝光的检测技术 83 \ 8.3.1 SPIN-BLP技术 83 \ 8.3.2 基于相移掩模的检测技术 85 \ 8.4 基于椭偏测量的检测技术 87 \ 8.4.1 穆勒光瞳检测技术 87 \ 8.4.2 琼斯光瞳检测技术 110 \ 8.5 基于空间像测量的检测技术 130 \ 8.5.1 基于空间像位置偏移量的检测 130 \ 8.5.2 基于差分空间像主成分分析的检测 154 \ 参考文献 171 \ 第9章 极紫外光刻投影物镜波像差检测 174 \ 9.1 基于干涉测量的检测技术 174 \ 9.1.1 点衍射干涉检测 174 \ 9.1.2 剪切干涉检测 241 \ 9.1.3 Fizeau干涉检测 274 \ 9.2 基于Hartmann波前传感器的检测技术 276 \ 9.3 基于空间像测量的检测技术 277 \ 9.3.1 基于空间像匹配的检测技术 277 \ 9.3.2 基于波前局部曲率测量的检测技术 278 \ 9.4 基于Ptychography的检测技术 279 \ 9.4.1 基本原理 279 \ 9.4.2 相位恢复算法 281 \ 9.4.3 光场传播公式 288 \ 9.4.4 仿真与实验 292 \ 9.5 基于光刻胶曝光的检测技术 300 \ 参考文献 302 \ 第10章 像质检测关键依托技术 311 \ 10.1 工件
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