硅微机械传感器

图书标准信息

• 作者 [荷兰]埃尔文斯波克、[荷兰]威杰林克 著；陶家渠、李应选 译
• 出版社 中国宇航出版社
• 出版时间 2003-09
• 版次 1
• ISBN 9787801446060
• 定价 35.00元
• 装帧 精装
• 开本 32开
• 纸张 胶版纸
• 页数 306页
• 字数 311千字
• 正文语种 简体中文

【内容简介】

《硅微机械传感器》详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。因为设计和制造传感器需要多学科的知识，只有经过电学、机械工程、物理和化学培训的工程师才能够进入这个领域并胜任此项工作。为了满足这个需求，《硅微机械传感器》从有关硅微机械传感器设计所需的基本科学知识开始，论述了包括物理定律的按比例缩小、梁和膜变形的力学、传感原理、流体流动和热传递的基本规律以及相关的电子电路等众多技术环节。此外还向读者介绍了硅微机械加工工艺和传感器封装的基本知识，并用压力传感器、力学传感器、加速度计、陀螺和流体传感器的众多例子说明了设计、制造和性能方面的有关问题。

【目录】

第1章引言

第2章MEMS
2.1微型化和系统
2.2MEMS的例子
2.3大和小：按比例缩小
2.4已有的制造技术

第3章硅微机械加工工艺
3.1光刻
3.2薄膜淀积和掺杂
3.3湿法化学腐
3.4圆片键合
3.5等离子体刻蚀
3.6面微机械加工工艺

第4章梁和膜的力学
4.1质量块-弹簧系统的动力学
4.2弦
4.3梁
4.4膜片和薄膜

第5章机械量的测量原理：形变的转换
5.1金属应变片
5.2半导体应变片
5.3电容式传感器

第6章力和压力传感器
6.1力传感器
6.2压力传感器

第7章加速度和角速度传感器
7.1加速度传感器
7.2角速度传感器

第8章流体传感器
8.1层状流边界层
8.2限于很小雷诺数情况下的热传输
8.3热流体传感器
8.4表层摩擦力传感器
8.5“干流体”传感器
8.6“湿流体”传感器

第9章谐振传感器
……

第10章电子电路接口
第11章封装
附录英汉名词对照
参考文献